Testador de quatro pontas RTS-8 RTS-4 RTS-9 testador de resistividade testador de resistência quadrada

Testador de quatro sondas(Manual com software)

O testador digital de quatro pontas de prova RTS-8 é um dispositivo de medição abrangente e multifuncional que usa o princípio de medição de quatro pontas de prova. O instrumento foi projetado de acordo com o padrão nacional para métodos de teste físico de silício de cristal único e com referência ao padrão americano ASTM. É um instrumento especial para testar a resistividade e a resistência da folha (resistência da folha) de materiais semicondutores.
O instrumento consiste em um host, uma bancada de testes, uma sonda de quatro sondas, um computador e outras peças. Os dados de medição podem ser exibidos diretamente pelo host, ou o computador pode controlar o teste para coletar os dados do teste e analisá-los no computador e, em seguida, exibir os resultados do teste na forma de tabelas e gráficos.
O instrumento foi projetado e montado com a mais recente tecnologia eletrônica e possui as características de seleção intuitiva de funções, medição rápida e aquisição de dados, alta precisão, ampla faixa de medição, boa estabilidade, estrutura compacta e fácil operação.
Este instrumento é adequado para testar o desempenho de resistência de materiais semicondutores em fábricas de materiais semicondutores, fábricas de dispositivos semicondutores, instituições de pesquisa científica e faculdades e universidades.O sistema de teste de software de quatro sondas RTS-8 é um programa de usuário executado em um computador e possui uma interface de teste amigável. Este programa de teste ajuda os usuários a realizar vários testes com facilidade, obter dados de teste e realizar análises estatísticas nos dados de teste.
O programa de teste controla o testador de quatro sondas para medir e coletar dados de teste, analisa os dados coletados no computador e, em seguida, registra e exibe os dados de teste em tabelas e gráficos. Os usuários podem salvar ou imprimir os dados coletados no computador para referência e visualização futura, e também podem enviar os dados coletados paraNo Excel, os usuários podem realizar diversos indicadores técnicos de análise de dados:
Faixa de medição
Resistividade:10-5~105 Ω.cm(expansível);
Resistência de bloqueio:10-4~106 Ω/□(expansível);
Condutividade:10-5~105 s/cm;
resistência:10-5~105Ω;
Diâmetro mensurável do wafer
140mmX150mm(com bancada de teste S-2A);
200mmX200mm(com bancada de teste S-2B);
400mmX500mm(com bancada de teste S-2C);
Uma fonte de corrente constante
A faixa atual é dividida emSeis níveis: 1μA, 10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, cada nível de corrente é continuamente ajustável
Voltímetro digital
Alcance e representação:000,00~199,99mV;
Resolução:10μV;
resistência de entrada:>1000MΩ;
Precisão:±0,1%;
Display: display digital de tubo luminoso vermelho de quatro dígitos e meio; exibição automática de polaridade e excesso de faixa;
Indicadores básicos da sonda de quatro sondas
espaçamento:1±0,01mm;
Resistência de isolamento entre pinos:≥1000MΩ;
Taxa de oscilação mecânica:≤0,3%;
Sonda: Carboneto de tungstênio ou aço rápidoФ0,5mm;
Pressão da sonda:5-16 Newtons (força total);
Parâmetros de aplicação da sonda de quatro sondas
(Veja o certificado de conformidade anexado à sonda)
Erro relativo de medição de resistência analógica
(De acordo com JJG508-87)
0,01Ω、0,1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0,3%±1字
Erro relativo máximo de medição de toda a máquina
(Testado com amostra padrão de silício: 0,01-180Ω.cm) ≤±5%
Incerteza padrão de medição de toda a máquina
≤5%
modo de teste
Pode ser conectado a um computador para teste ou não conectado a um computador para teste
Função de software (opcional)
O software pode registrar, salvar e imprimir os dados de teste de cada ponto e analisar estatisticamente o valor máximo, valor mínimo, valor médio, variação percentual máxima, variação percentual média, irregularidade radial dos dados de teste e gerar um histograma dos dados . Os dados de teste também podem ser enviados paraNo Excel, várias análises de dados podem ser realizadas nos dados. O software também pode selecionar a função de medição automática para selecionar automaticamente a faixa de corrente apropriada para teste de acordo com a resistência da amostra.
Interface de comunicação de computador
Porta paralela, coleta de dados paralela de alta velocidade, quando conectado a um computador, o tempo para coletar dados para o computador é apenas1,5 segundos (na faixa de 0,1mA, 1mA, 10mA, 100mA).
Ambiente de uso padrão
temperatura:23±2°C;
Humidade relativa:≤65%;
Nenhuma interferência de alta frequência;
Sem luz solar direta;

Peso exterior 8kg do tamanho da caixa do mainframe de 450*500*250mm 450*250*230 peso exterior do tamanho da bancada 4kg